1. Metodo del punto colorato: applicare uniformemente la polvere di piombo rosso sulla superficie da misurare. Dopo averlo strofinato su una piastra standard, appariranno dei punti luminosi. All'interno di un'area di 25 mm × 25 mm, se i punti sono distribuiti uniformemente e numerosi (ad esempio, maggiori o uguali a 20 punti), la planarità è accettabile. Questo metodo è adatto per misurazioni approssimative rapide, ma ha una precisione inferiore.
2. Metodo di interferenza ottica piatta: premere un piatto ottico (piattezza<0.1λ) onto the surface to be measured to form an air wedge interference cavity. If straight, uniform interference fringes appear under monochromatic light, the flatness is good; if the fringes are curved, the error needs to be calculated:
Frangia anulare: valore di errore=numero di frange × λ/2 (λ è la lunghezza d'onda della luce).
Frangia dritta: valore errore=curvatura × spaziatura della frangia/2.
Questo metodo raggiunge una precisione di livello nanometrico- ed è adatto per l'ispezione di piccoli-piani.
3. Metodo dell'indicatore: utilizzando una piastra standard come riferimento, misurare la superficie punto per punto con un micrometro. Se per la regolazione viene utilizzato il metodo dei tre-punti, la differenza tra le letture massima e minima costituisce il valore dell'errore; il metodo della zona minima richiede un calcolo matematico. Offre un'elevata precisione ma è complicato da utilizzare.
4. Metodo collimatore/livello: le misurazioni vengono effettuate in punti disposti in una griglia e viene registrata la deviazione di ciascun punto rispetto al riferimento. L'errore di planarità viene calcolato utilizzando il metodo dei minimi quadrati o il metodo della zona di delimitazione minima. Adatto per l'ispezione di aree di-grandi aree, ma richiede un ambiente stabile.
